High-End 3D Oberflächenmesstechnik

cyberTECHNOLOGIES ist führender Hersteller hochauflösender, berührungsloser 3D Messsysteme für Industrie und Wissenschaft. Seit Jahren arbeiten wir, immer wieder gerne mit der Firma cyberTECHNOLOGIES zusammen, um für deren Kunden speziell angepasste Vakuumtische herzustellen.

In diesem Projekt haben wir aus einer Vollaluminiumplatte einen passgenauen Vakuumtisch hergestellt und für ein Referenzwerkstück ein kongruentes Feld gefräst. Zur leichteren Positionierung der Werkstücke, gab es als i-Tüpfelchen noch einen formangepassten Anschlag dazu.

Der Tisch wurde zunächst über unser CAD System angepasst und mit dem Kunden geplant bzw. durch den Kunden freigegeben. Um den Tisch so präzise wie möglich zu fertigen, wurde der Körper des Vakuumtisches nach dem Fräsen zum Spannungsglühen gebracht. Hier werden die durch das Fräsen entstandenen Spannungen im Werkstück wieder gelöst. Um zusätzlich noch eine perfekte, laborgerechte Oberfläche zu erzeugen wurde der Vakuumtisch im Anschluss schwarz eloxiert.

Zu guter Letzt wurde ein spezielles Matapor verklebt und Plan gefräst. Dieses spezielle Metapor hat sich bestens für den Reinraumbereich bewährt, da es aus einem feinporigen Keramik-Werkstoff ist und eine weiße nicht reflektierende Oberfläche hat.

Technische Daten

  • Einsatzgebiet: Oberflächen-Messtechnik speziell für die Mikroelektronik

  • Material: Aluminium EN-AW 5083

  • Materialoberfläche: Metapor aus einem Keramik-Werkstoff

  • Farbe: Schwarz eloxiert

  • Maße: 404x404x31mm

  • Spezial: Spannungsarmgeglüht

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